Techniques of shallow trench isolation and devices produced therefrom. The
techniques of shallow trench isolation utilize foamed polymers, cured
aerogels or air gaps as the insulation medium. Such techniques facilitate
lower dielectric constants than the standard silicon dioxide due to the
cells of gaseous components inherent in foamed polymers, cured aerogels or
air gaps. Lower dielectric constants reduce capacitive coupling concerns
and thus permit higher device density in an integrated circuit device.
Τεχνικές ρηχής απομόνωσης και συσκευών τάφρων παραχθεισών απ' αυτό. Οι τεχνικές ρηχής απομόνωσης τάφρων χρησιμοποιούν τα αφρισμένα πολυμερή σώματα, τα θεραπευμένα αεροτζέλ ή τα κενά αέρα ως μέσο μόνωσης. Τέτοιες τεχνικές διευκολύνουν τις χαμηλότερες διηλεκτρικές σταθερές από το τυποποιημένο διοξείδιο πυριτίου λόγω στα κύτταρα των αεριωδών συστατικών έμφυτων στα αφρισμένα πολυμερή σώματα, τα θεραπευμένα αεροτζέλ ή τα κενά αέρα. Οι χαμηλότερες διηλεκτρικές σταθερές μειώνουν τις χωρητικές ανησυχίες συζεύξεων και επιτρέπουν έτσι την υψηλότερη πυκνότητα συσκευών σε μια συσκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
