One embodiment disclosed relates to a method for driving a micro
electromechanical (MEM) device. The method includes generating a
high-frequency AC drive signal that is substantially greater in frequency
than a resonance frequency of a movable feature in the MEM device, and
modulating the amplitude of the high-frequency AC drive signal. A DC-like
displacement of the movable feature in the MEM device is achieved by
driving the movable feature using the amplitude modulated high-frequency
AC drive signal.
Une incorporation révélée se relie à une méthode pour conduire un dispositif (MEM) électromécanique micro. La méthode inclut produire d'un signal à haute fréquence d'entraînement à C.A. qui est sensiblement plus grand dans la fréquence qu'une fréquence de résonance d'un dispositif mobile dans le dispositif de MEM, et moduler l'amplitude du signal à haute fréquence d'entraînement à C.A.. A C.C-COMME le déplacement du dispositif mobile dans le dispositif de MEM est réalisé en conduisant le dispositif mobile en utilisant le signal à haute fréquence modulé par amplitude d'entraînement à C.A..
