Method of manufacturing a microbalance

   
   

22A temperature and/or pressure compensated microbalance is disclosed. Temperature compensation is achieved by applying heat to at least a part of the microbalance, measuring a temperature-dependent variable, and controlling the amount of heat applied to the microbalance to keep the temperature-dependent variable substantially constant. In one embodiment, the heat is applied to the microbalance by passing electrical current through a resistive element provided on or embedded in the oscillating element of the microbalance. Pressure compensation is achieved by taking into account the variation in the mass or density of fluid passing through the microbalance. Various materials and methods of construction are also disclosed, including micro-machining and electroforming.

22A η θερμοκρασία ή/και αντισταθμισμένο πίεση microbalance αποκαλύπτονται. Η αποζημίωση θερμοκρασίας επιτυγχάνεται με την εφαρμογή της θερμότητας τουλάχιστον σε ένα μέρος microbalance, τη μέτρηση μιας θερμοκρασία-εξαρτώμενης μεταβλητής, και τον έλεγχο του ποσού θερμότητας που εφαρμόζεται microbalance για να κρατήσει τη θερμοκρασία-εξαρτώμενη μεταβλητή ουσιαστικά σταθερή. Σε μια ενσωμάτωση, η θερμότητα εφαρμόζεται microbalance με τη διάβαση του ηλεκτρικού ρεύματος μέσω ενός ανθεκτικού στοιχείου παρεχόμενου επάνω ή που ενσωματώνεται στο ταλαντεμένος στοιχείο microbalance. Η αποζημίωση πίεσης επιτυγχάνεται με να λάβει υπόψη την παραλλαγή στη μάζα ή την πυκνότητα του ρευστού που περνά μέσω microbalance. Τα διάφορα υλικά και οι μέθοδοι κατασκευής αποκαλύπτονται επίσης, συμπεριλαμβανομένης της μικροϋπολογιστής-κατεργασίας και electroforming.

 
Web www.patentalert.com

< Chair tilt lock mechanism

< Coils for generating a plasma and for sputtering

> CMOS sequential logic configuration for an edge triggered flip-flop

> Database method implementing attribute refinement model

~ 00129