22A temperature and/or pressure compensated microbalance is disclosed.
Temperature compensation is achieved by applying heat to at least a part
of the microbalance, measuring a temperature-dependent variable, and
controlling the amount of heat applied to the microbalance to keep the
temperature-dependent variable substantially constant. In one embodiment,
the heat is applied to the microbalance by passing electrical current
through a resistive element provided on or embedded in the oscillating
element of the microbalance. Pressure compensation is achieved by taking
into account the variation in the mass or density of fluid passing through
the microbalance. Various materials and methods of construction are also
disclosed, including micro-machining and electroforming.
22A η θερμοκρασία ή/και αντισταθμισμένο πίεση microbalance αποκαλύπτονται. Η αποζημίωση θερμοκρασίας επιτυγχάνεται με την εφαρμογή της θερμότητας τουλάχιστον σε ένα μέρος microbalance, τη μέτρηση μιας θερμοκρασία-εξαρτώμενης μεταβλητής, και τον έλεγχο του ποσού θερμότητας που εφαρμόζεται microbalance για να κρατήσει τη θερμοκρασία-εξαρτώμενη μεταβλητή ουσιαστικά σταθερή. Σε μια ενσωμάτωση, η θερμότητα εφαρμόζεται microbalance με τη διάβαση του ηλεκτρικού ρεύματος μέσω ενός ανθεκτικού στοιχείου παρεχόμενου επάνω ή που ενσωματώνεται στο ταλαντεμένος στοιχείο microbalance. Η αποζημίωση πίεσης επιτυγχάνεται με να λάβει υπόψη την παραλλαγή στη μάζα ή την πυκνότητα του ρευστού που περνά μέσω microbalance. Τα διάφορα υλικά και οι μέθοδοι κατασκευής αποκαλύπτονται επίσης, συμπεριλαμβανομένης της μικροϋπολογιστής-κατεργασίας και electroforming.
