An anti stiction structure for cantilever formation technique. In one
embodiment, the polymer cantilever is prevented from sticking to the
substrate by at amortized stick layer on the substrate during formation
that is later removed as a sacrificial layer. In another embodiment, the
cantilever includes downwardly extending legs.
Een antistictionstructuur voor cantilever vormingstechniek. In één belichaming, polymeer wordt cantilever verhinderd aan het substraat langs bij afgeloste stoklaag op het substraat te plakken tijdens vorming die later als offerlaag wordt verwijderd. In een andere belichaming, omvat cantilever naar beneden het uitbreiden van benen.
