An illumination device for scanning exposure apparatus for carrying out
exposure even when a movable stage is being accelerated and decelerated.
The apparatus includes an illumination-distribution varying device for
temporarily varying the illumination distribution of an illumination unit
that is performing the exposure, wherein the illumination-distribution
varying device has a function for varying the temporary change of the
illumination distribution in conformity with a pattern for driving the
movable stage.
Eine Ablichtung Vorrichtung für das Ablichten des Belichtung Apparates für das Durchführen von von Belichtung, selbst wenn ein bewegliches Stadium beschleunigt und verlangsamt wird. Der Apparat schließt eine Ablichtung-Verteilung unterschiedliche Vorrichtung für die Ablichtung Verteilung einer Ablichtung Maßeinheit vorübergehend verändern ein, die die Belichtung durchführt, worin die Ablichtung-Verteilung unterschiedliche Vorrichtung eine Funktion für das Verändern der temporären Änderung der Ablichtung Verteilung in Übereinstimmung mit einem Muster für das Fahren des beweglichen Stadiums hat.
