Illumination device, exposure apparatus and exposure method

   
   

An illumination device for scanning exposure apparatus for carrying out exposure even when a movable stage is being accelerated and decelerated. The apparatus includes an illumination-distribution varying device for temporarily varying the illumination distribution of an illumination unit that is performing the exposure, wherein the illumination-distribution varying device has a function for varying the temporary change of the illumination distribution in conformity with a pattern for driving the movable stage.

Eine Ablichtung Vorrichtung für das Ablichten des Belichtung Apparates für das Durchführen von von Belichtung, selbst wenn ein bewegliches Stadium beschleunigt und verlangsamt wird. Der Apparat schließt eine Ablichtung-Verteilung unterschiedliche Vorrichtung für die Ablichtung Verteilung einer Ablichtung Maßeinheit vorübergehend verändern ein, die die Belichtung durchführt, worin die Ablichtung-Verteilung unterschiedliche Vorrichtung eine Funktion für das Verändern der temporären Änderung der Ablichtung Verteilung in Übereinstimmung mit einem Muster für das Fahren des beweglichen Stadiums hat.

 
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< Liquid crystal device

< LIGHT RECEIVING APPARATUS, MARK DETECTING APPARATUS USING LIGHT RECEIVING APPARATUS, EXPOSING APPARATUS, MAINTENANCE METHOD OF EXPOSING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING EXPOSING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT

> Exposure apparatus, device manufacturing method, gas substituting apparatus, and gas substituting method

> Image data processing method and image data transfer method

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