A light receiving apparatus, a mark detecting apparatus or the like, which
can generate an image with high accuracy without changing oscillation
frequency of an oscillating unit, permit increased accuracy of measurement
and reduction of measurement time and contribute to improvement of
throughput, include a unit for obtaining storage time when light is
received by a CCD camera 8 which is a storage-type position sensor and
pulse light emitting frequency of a pulse light emitting apparatus 14 from
a cycle of the oscillating unit 7 and predetermined number of pulses of
the pulse light emitted from the pulse light emitting apparatus 14 to
start storage of the CCD camera 8 and emit the pulse light from the pulse
light emitting apparatus 14 by the obtained pulse light emitting
frequency.
Ένα φως που λαμβάνει τις συσκευές, ένα σημάδι που ανιχνεύουν τις συσκευές ή τους ομοίους, που μπορούν να παραγάγουν μια εικόνα με την υψηλή ακρίβεια χωρίς μεταβαλλόμενη συχνότητα ταλάντωσης μιας ταλαντεμένος μονάδας, άδεια αύξησε την ακρίβεια της μέτρησης και της μείωσης του χρόνου μέτρησης και συμβάλλει στη βελτίωση της ρυθμοαπόδοσης, περιλαμβάνει μια μονάδα για τη λήψη του χρόνου αποθήκευσης όταν παραλαμβάνεται το φως από μια CCD φωτογραφική μηχανή 8 που είναι μια ελαφριά συχνότητα εκπομπής αισθητήρων και σφυγμού θέσης αποθήκευση-τύπων μιας ελαφριάς εκπέμποντας συσκευής 14 σφυγμού από έναν κύκλο της ταλαντεμένος μονάδας 7 και του προκαθορισμένου αριθμού σφυγμών του φωτός σφυγμού που εκπέμπεται από τις ελαφριές εκπέμποντας συσκευές 14 σφυγμού για να αρχίσει την αποθήκευση της CCD φωτογραφικής μηχανής 8 και να εκπέμψει το φως σφυγμού από τε αν ημαγε ωητχ χηγχ αθθuραθυ ωητχοuτ θχανγηνγ οσθηλλατηον φρεquενθυ οφ αν οσθηλλατηνγ uνητ, περμητ ηνθρεασεδ αθθuραθυ οφ μεασuρεμεντ ανδ ρεδuθτηον οφ μεασuρεμεντ τημε ανδ θοντρηψuτε το ημπροβεμεντ οφ τχροuγχπuτ, ηνθλuδε α uνητ φορ οψταηνηνγ στοραγε τημε ωχεν ληγχτ ης ρεθεηβεδ ψυ α ΘΘΔ θαμερα 8 ωχηθχ ης α στοραγε-τυπε ποσητηον σενσορ ανδ πuλσε ληγχτ εμηττηνγ φρεquενθυ οφ α πuλσε ληγχτ εμηττηνγ αππαρατuς 14 φρομ α θυθλε οφ τχε οσθηλλατηνγ uνητ 7 ανδ πρεδετερμηνεδ νuμψερ οφ πuλσες οφ τχε πuλσε ληγχτ εμηττεδ φρομ τχε πuλσε ληγχτ εμηττηνγ αππαρατuς 14 το σταρτ στοραγε οφ τχε ΘΘΔ θαμερα 8 ανδ εμητ τχε πuλσε ληγχτ φρομ τχε πuλσε ληγχτ εμηττηνγ συσκευές 14 από την αποκτηθείσα συχνότητα εκπομπής σφυγμού ελαφριά.
