An excimer or molecular fluorine laser system includes a laser chamber
filled with a gas mixture at least including a halogen-containing species
and a buffer gas, multiple electrodes, including a pair of main discharge
electrodes and at least one preionization electrode, within the laser
chamber and connected to a discharge circuit for energizing the gas
mixture, and a resonator including a line-narrowing and/or selection
module for generating a laser beam at high spectral purity. The
line-narrowing module includes one or more line-narrowing and/or selection
optics within a sealed module coupled to vacuum equipment through a vacuum
port for reducing the pressure within the module,
Um excimer ou um sistema molecular do laser do fluorine incluem uma câmara do laser enchida com uma mistura do gás ao menos including uma espécie halogen-containing e um gás do amortecedor, elétrodos múltiplos, including um par dos elétrodos principais da descarga e ao menos do um elétrodo do preionization, dentro da câmara do laser e conectada a um circuito da descarga para energizar a mistura do gás, e um ressonador including um módulo linha-estreitar-se e/ou de seleção para gerar um feixe de laser no purity spectral elevado. O módulo linha-estreitando-se inclui aquele ou mais queestreitam-se e/ou o sistema ótico da seleção dentro de um módulo selado acoplado para vacuum o equipamento através de um porto do vácuo para reduzir a pressão dentro do módulo,
