The present invention provides a positive photoresist composition for far
ultraviolet exposure, which comprises a polymer having at least one of a
repeating unit represented by formula (Ia) and a repeating unit
represented by formula (Ib), and a repeating unit represented by formula
(II), and having a group capable of decomposing by the action of an acid:
##STR1##
wherein R.sub.1 and R.sub.2 each represents hydrogen atom, a cyano group, a
hydroxyl group, --COOH, --COOR.sub.5, --CO--NH--R.sub.6,
--CO--NH--SO.sub.2 --R.sub.6, an alkyl group, an alkoxy group, a cyclic
hydrocarbon group or a --Y group, X represents --O--, --S--, --NH--,
--NHSO.sub.2 -- or --NHSO.sub.2 NH--, A represents a single bond or a
divalent linking group, Z.sub.2 represents --O-- or --N(R.sub.3)--,
R.sub.11 and R.sub.12 each represents a hydrogen atom, a cyano group, a
halogen atom or an alkyl group, Z.sub.1 represents an atomic group
necessary for forming an alicyclic structure which contains two bonded
carbon atoms (C--C), and Y, R.sub.3, R.sub.5 and R.sub.6 are as defined in
the specification.
Η παρούσα εφεύρεση παρέχει μια θετική photoresist σύνθεση για τη μακρινή υπεριώδη έκθεση, η οποία περιλαμβάνει ένα πολυμερές σώμα που έχουν τουλάχιστον μια από μια μονάδα επανάληψης που αντιπροσωπεύονται από τον τύπο (Ia) και μια μονάδα επανάληψης που αντιπροσωπεύεται από τον τύπο (Ib), και μια μονάδα επανάληψης που αντιπροσωπεύεται από τον τύπο (II), και κατοχή μιας ομάδας ικανής από δράση ενός οξέος: ## STR1 ## όπου R.sub.1 και R.sub.2 κάθε ένα αντιπροσωπεύουν το άτομο υδρογόνου, μια κυανή ομάδα, μια ομάδα υδροξυλίου, -- COOH, -- COOR.sub.5, -- κοβάλτιο -- NH -- R.sub.6, -- Κοβάλτιο -- NH -- SO.sub.2 -- R.sub.6, μια αλκυλική ομάδα, μια αλκόξινη ομάδα, μια κυκλική ομάδα υδρογονανθράκων ή μια ομάδα YY, Χ αντιπροσωπεύουν το ο --, SS --, NH --, -- NHSO.sub.2 -- ή -- NHSO.sub.2 NH --, Α αντιπροσωπεύει έναν ενιαίο δεσμό ή μια divalent ομάδα σύνδεσης, Z.sub.2 αντιπροσωπεύει το ο -- ή -- ν (R.sub.3) - -, R.sub.11 και R.sub.12 κάθε ένα αντιπροσωπεύουν ένα άτομο υδρογόνου, μια κυανή ομάδα, ένα άτομο αλόγονου ή μια αλκυλική ομάδα, Z.sub.1 αντιπροσωπεύουν μια ατομική ομάδα απαραίτητη για τη διαμόρφωση μιας αλεικυκλικής δομής που περιέχει δύο συνδεμένα άτομα άνθρακα (CC), και το Υ, R.sub.3, R.sub.5 και R.sub.6 είναι όπως καθορίζεται στην προδιαγραφή.
