A prealignment system is configured to determine a position and orientation
of a substrate (e.g. a polygonal substrate). The system rotates a
substrate about an axis of rotation that is substantially perpendicular to
the plane of the substrate. The system also includes a non-contact edge
sensor configured to indicate, at each of a plurality of angles of
rotation of the substrate, a corresponding distance of an edge of the
substrate along a line intersecting the axis of rotation. The system also
determines, based on the plurality of distances, best-fit lines for at
least two edges of the substrate, and determines a position and
orientation of the substrate based on the best-fit lines.
Ένα σύστημα prealignment διαμορφώνεται για να καθορίσει μια θέση και έναν προσανατολισμό ενός υποστρώματος (π.χ. ένα polygonal υπόστρωμα). Το σύστημα περιστρέφεται ένα υπόστρωμα για έναν άξονα της περιστροφής που είναι ουσιαστικά κάθετος στο αεροπλάνο του υποστρώματος. Το σύστημα περιλαμβάνει επίσης έναν αισθητήρα ακρών μη-επαφών που διαμορφώνεται για να δείξει, σε κάθε μια από μια πολλαπλότητα των γωνιών της περιστροφής του υποστρώματος, μια αντίστοιχη απόσταση μιας άκρης του υποστρώματος σύμφωνα με μια γραμμή που κόβει τον άξονα της περιστροφής. Το σύστημα καθορίζει επίσης, βασισμένος στην πολλαπλότητα των αποστάσεων, καλής εφαρμογής γραμμές για τουλάχιστον δύο άκρες του υποστρώματος, και καθορίζει μια θέση και έναν προσανατολισμό του υποστρώματος βασισμένου στις καλής εφαρμογής γραμμές.
