A matrix type piezoelectric/electrostrictive device in which a plurality of
piezoelectric/electrostrictive elements almost in a pillar shape, each
having a piezoelectric/electrostrictive substance and at least a pair of
electrodes being formed on the sides of the substance, are vertically
provided on a thick ceramic substrate. It is driven by displacement of the
piezoelectric/electrostrictive substance. In this device, a plurality of
piezoelectric/electrostrictive elements are integrally bonded to the
ceramic substrate and independently arranged in two dimensions. The
percentage of transgranularly fractured crystal grains on at least the
sides of the piezoelectric/electrostrictive substance on which the
electrodes are formed is 10% or less. The unit forms a curved surface near
a joined section between the substance and the substrate. The present
device can show excellent performances such as large displacement at a low
voltage with pushing, distorting, moving, striking (impacting), or mixing
an object of action and the like.
Un tipo dispositivo de la matriz de piezoelectric/electrostrictive en el cual una pluralidad de elementos de piezoelectric/electrostrictive casi en una forma del pilar, cada uno que tiene una sustancia de piezoelectric/electrostrictive y por lo menos un par de electrodos que son formados en los lados de la sustancia, se proporciona verticalmente en un substrato de cerámica grueso. Es conducida por la dislocación de la sustancia de piezoelectric/electrostrictive. En este dispositivo, una pluralidad de elementos de piezoelectric/electrostrictive se enlaza integralmente al substrato de cerámica y se arregla independientemente en dos dimensiones. El porcentaje de granos cristalinos transgranularly fracturados en por lo menos los lados de la sustancia de piezoelectric/electrostrictive en la cual se forman los electrodos es el 10% o menos. La unidad forma un cercano superficial curvada una sección unida entre la sustancia y el substrato. El actual dispositivo puede demostrar funcionamientos excelentes tales como dislocación grande en una baja tensión con empujar, torcer, la mudanza, el pulso (afectación), o mezclar de un objeto de la acción y de los similares.
