There is disclosed a CMP slurry which comprises a solvent, abrasive grains,
and a silicone-based surfactant having an HLB value ranging from 7 to 20.
È rilevato i residui del CMP che contengono un solvente, i grani abrasivi e un agente tensioattivo silicone-basato che ha un valore di HLB variare da 7 a 20.
