An ellipsometer apparatus and method for use in providing an image of at
least a portion of a sample includes an objective lens having a focal
plane at which a sample plane of a sample is positioned. Linearly
polarized light normal to the sample plane incident on the objective lens
is provided, and the incident linearly polarized light is focused onto the
sample. At least a portion of the focused incident polarized light is
reflected by the sample resulting in reflected light. Spatial filtering is
used to modify at least a portion of the incident or the reflected light.
An analyzer portion is operable to generate polarization information based
on the reflected light.
Ein ellipsometer Apparat und eine Methode für Gebrauch, wenn sie ein Bild mindestens eines Teils einer Probe zur Verfügung stellen, schließt ein objektives Objektiv mit ein, das eine fokale Fläche hat, an der eine Beispielfläche einer Probe in Position gebracht wird. Linear polarisiertes helles normales zum Beispielflächeereignis auf dem objektiven Objektiv wird zur Verfügung gestellt, und das polarisierte Licht des Ereignisses linear wird auf die Probe fokussiert. Mindestens wird ein Teil des fokussierten Ereignis polarisierten Lichtes durch die Probe reflektiert, resultierend in reflektiertem Licht. Die räumliche Entstörung wird verwendet, um mindestens einen Teil des Ereignisses oder des reflektierten Lichtes zu ändern. Ein Analysatorteil ist funktionell, die Polarisationinformationen zu erzeugen, die auf dem reflektierten Licht basieren.
