Polarization dependent loss measuring apparatus

   
   

Wavelength dependent measurement is made by launching light into an object 8 to be measured and receiving transmitted light from the object 8 while continuously changing wavelengths of output light. Next, peak wavelength detection processing for detecting a wavelength at the time when loss or gain of the transmitted light from the object 8 becomes maximum based on a wavelength dependent measurement result is performed. Then, polarization dependent loss measurement processing for measuring polarization dependent loss of the object 8 is performed by measuring the transmitted light from the object 8 while launching light of a measurement wavelength detected into the object 8 and randomly changing a polarization state of the light. Further, a control circuit processes associating a wavelength dependent analysis result with a PDL measurement result, and displays its result on a display part 2.

Η εξαρτώμενη μέτρηση μήκους κύματος γίνεται με την προώθηση του φωτός σε ένα αντικείμενο 8 για να μετρηθεί και τη λήψη του διαβιβασθέντος φωτός από το αντικείμενο 8 συνεχώς μεταβαλλόμενη τα μήκη κύματος του φωτός παραγωγής. Έπειτα, η μέγιστη επεξεργασία ανίχνευσης μήκους κύματος για την ανίχνευση ενός μήκους κύματος στο χρόνο όταν η απώλεια ή το κέρδος του διαβιβασθέντος φωτός από το αντικείμενο 8 γίνεται μέγιστη βασισμένη σε ένα εξαρτώμενο αποτέλεσμα μέτρησης μήκους κύματος εκτελείται. Κατόπιν, η εξαρτώμενη επεξεργασία μέτρησης απώλειας πόλωσης για τη μέτρηση της εξαρτώμενης απώλειας πόλωσης του αντικειμένου 8 εκτελείται με τη μέτρηση του διαβιβασθέντος φωτός από το αντικείμενο 8 προωθώντας το φως ενός μήκους κύματος μέτρησης που ανιχνεύεται στο αντικείμενο 8 και τυχαία μεταβαλλόμενος μια κατάσταση πόλωσης του φωτός. Περαιτέρω, διαδικασίες ελέγχου κυκλωμάτων που συνδέουν ένα εξαρτώμενο αποτέλεσμα ανάλυσης μήκους κύματος με ένα αποτέλεσμα μέτρησης PDL, και επιδείξεις το αποτέλεσμά του για ένα μέρος 2 επίδειξης.

 
Web www.patentalert.com

< Modulated scatterometry

< Imaging apparatus and method

> Imaging ellipsometry

> Multiple beam ellipsometer

~ 00135