In a system for manufacturing semiconductor devices, a customer information
management apparatus is connected via a network to a plurality of customer
terminals to receive orders from the customer terminals. A manufacturing
management apparatus is connected between the customer information
management apparatus and processing units and inspection units to control
the processing units and the inspection units in accordance with the
orders in the customer information management apparatus. Each of the
orders includes a designated quantity of lots, a designated substrate,
designated processing units, designated recipes thereof, designated
inspection units and designated inspection recipes thereof.
Em um sistema para dispositivos de semicondutor do manufacturing, um instrumento da gerência de informação do cliente é conectado através de uma rede a um plurality de terminais do cliente para receber ordens dos terminais do cliente. Um instrumento da gerência do manufacturing é conectado entre o instrumento da gerência de informação do cliente e as unidades processando e as unidades da inspeção para controlar as unidades processando e as unidades da inspeção de acordo com as ordens no instrumento da gerência de informação do cliente. Cada uma das ordens inclui uma quantidade designada dos lotes, uma carcaça designada, designada as unidades processando, designadas receitas disso, unidades designadas da inspeção e receitas designadas da inspeção disso.
