A gas supply path structure forms a fluid path for allowing a laser gas to
flow into or out of a pair of fluid inlet and outlet 11a and a laser gas
is controlled to a predetermined subsonic speed at a throat portion. Gas
supplies for controlling the speed of the gas are connected each to the
fluid inlet and to the fluid outlet of the gas supply path structure and,
together with a cooling device, compose a circulation system for
controlling the speed and pressure of the laser gas at the fluid inlet
and/or at the fluid outlet.
Una estructura de la trayectoria de la fuente de gas forma una trayectoria flúida para permitir que un gas del laser fluya en o fuera de un par de la entrada y el enchufe flúido 11a y un gas del laser se controla a una velocidad subsónica predeterminada en una porción de la garganta. Las fuentes de gas para controlar la velocidad del gas están conectadas cada uno con la entrada flúida y con el enchufe flúido de la estructura de la trayectoria de la fuente de gas y, junto con un dispositivo que se refresca, componen un sistema de la circulación para controlar la velocidad y la presión del gas del laser en la entrada flúida y/o en el enchufe flúido.
