A method for forming an optical thin film used for optical elements of
laser systems including high-energy lasers and an optical element of
optical apparatuses is provided. The optical thin film can be easily
formed on a desired substrate with reproducibility by vapor-depositing a
porous fluoride layer for preventing reflection in the deep ultraviolet
region, and can be easily removed in a short time to reuse the substrate
if the thin film damaged. A water-insoluble material (2) for preventing
reflection is vapor-deposited onto an optical element substrate (1). A
water-soluble material (3) having a higher particle energy is
vapor-deposited onto the surface of the water-insoluble material (2). The
water-soluble material (3) permeates deep into the water-insoluble
material (2) to form a mixed film on the surface of the substrate (1).
Then, the water-soluble material (3) is dissolved and removed to form a
porous thin film (5) comprising the water-insoluble material (2).
Une méthode pour former une couche mince optique utilisée pour les éléments optiques des systèmes de laser comprenant les lasers de grande énergie et d'un élément optique des appareils optiques est fournie. La couche mince optique peut être facilement formée sur un substrat désiré avec la reproductibilité vapeur-en déposant une couche poreuse de fluorure pour empêcher la réflexion dans la région ultra-violette profonde, et peut être facilement enlevée en peu de temps de réutiliser le substrat si la couche mince endommageait. Un matériel insoluble dans l'eau (2) pour empêcher la réflexion vapeur-est déposé sur un substrat optique d'élément (1). Un matériel hydrosoluble (3) ayant une énergie plus élevée de particules vapeur-est déposé sur la surface du matériel insoluble dans l'eau (2). Le matériel hydrosoluble (3) imprègne profondément dans le matériel insoluble dans l'eau (2) pour former un film mélangé sur la surface du substrat (1). Puis, le matériel hydrosoluble (3) est dissous et enlevé pour former une couche mince poreuse (5) comportant le matériel insoluble dans l'eau (2).
