Motor and turbo-molecular pump

   
   

A compact turbo-molecular pump having a high depressurizing capability. A motor for rotating a rotor vane includes an air bearing. The air bearing has a rotary cylinder and a fixed surface surrounding the rotary cylinder. The material of the rotary cylinder has a coefficient of thermal expansion that is smaller than that of the material of the fixed surface. Thus, change in the dimensions of the rotary cylinder is smaller than that of the fixed surface even if the temperature of the air bearing rises during operation of the pump. Thus, the rotary cylinder avoids contact with the fixed surface.

Een compacte turbo-moleculaire pomp die een hoog het de overdruk wegnemen van vermogen heeft. Een motor voor het roteren van een rotorvin omvat een luchtlager. Het luchtlager heeft een roterende cilinder en een vaste oppervlakte die de roterende cilinder omringen. Het materiaal van de roterende cilinder heeft een coëfficiënt van thermische uitbreiding die kleiner is dan dat van het materiaal van de vaste oppervlakte. Aldus, is de verandering in de afmetingen van de roterende cilinder kleiner dan dat van de vaste oppervlakte zelfs als de temperatuur van het luchtlager tijdens verrichting van de pomp toeneemt. Aldus, vermijdt de roterende cilinder contact met de vaste oppervlakte.

 
Web www.patentalert.com

< Semiconductor device with compact package

< Adjusting device for a disk tray for an optical disk drive motor

> RF matching unit

> Optical apparatus

~ 00143