Planar index guided vertical cavity surface emitting laser (PIG VCSEL)
utilizes index guiding to provide improved optical confinement and proton
implantation to improve current confinement. Index guiding is achieved by
etching index guide openings (holes or partial ridges) around the optical
confinement region and may be adjusted by varying the etched volume of the
index guide openings (holes and partial ridges). The top contact surface
area is increased in the PIG VCSEL thereby lowering contact and device
resistance to improve VCSEL performance further. The PIG VCSEL is a
substantially planarized device for ease of manufacture.
Le laser d'émission extérieur de cavité verticale guidé par index planaire (PORC VCSEL) utilise l'index guidant pour fournir l'implantation optique améliorée d'emprisonnement et de proton pour améliorer l'emprisonnement courant. Le guidage d'index est réalisé en gravant à l'eau-forte des ouvertures de guide d'index (des trous ou des arêtes partielles) autour de la région optique d'emprisonnement et peut être ajusté en changeant le volume gravé à l'eau-forte des ouvertures de guide d'index (des trous et des arêtes partielles). Le secteur supérieur de surface de contact est augmenté chez le PORC VCSEL abaissant de ce fait la résistance de contact et de dispositif pour améliorer l'exécution de VCSEL plus loin. Le PORC que VCSEL est a planarized sensiblement le dispositif pour la facilité de la fabrication.
