When determining the presence of foreign particles in a processing chamber
by radiating a laser beam inside a processing chamber and detecting
scattered light from foreign particles within the processing chamber, the
detection of scattered light is performed using a detecting lens having a
wide field angle and deep focal depth. Accordingly, the detection of
foreign particles floating in the processing chamber can be performed
across a wide range, and with uniform sensitivity, with a detecting
optical system having a simple constitution.
En déterminant la présence des particules étrangères dans une chambre de traitement en rayonnant un rayon laser à l'intérieur d'une chambre de traitement et en détectant la lumière dispersée des particules étrangères dans la chambre de traitement, la détection de la lumière dispersée est effectuée à l'aide d'un objectif détectant ayant un angle large de champ et une profondeur focale profonde. En conséquence, la détection des particules étrangères flottant dans la chambre de traitement peut être effectuée à travers un éventail, et avec la sensibilité uniforme, avec un système optique détectant ayant une constitution simple.
