Microelectromechanical system with stiff coupling

   
   

A microelectromechanical system is disclosed that uses a stiff tether between an actuator assembly and a lever that is interconnected with an appropriate substrate such that a first end of the lever may move relative to the substrate, depending upon the direction of motion of the actuator assembly. Any appropriate load may be interconnected with the lever, including a mirror for any optical application.

Um sistema microelectromechanical é divulgado que use um duro tether entre um conjunto de atuador e uma alavanca que seja interconectada com uma carcaça apropriada tais que uma primeira extremidade da alavanca pode se mover relativo à carcaça, dependendo em cima do sentido do movimento do conjunto de atuador. Qualquer carga apropriada pode ser interconectada com a alavanca, including um espelho para toda a aplicação ótica.

 
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