An apparatus for characterizing multilayer samples is disclosed. An
intensity modulated pump beam is focused onto the sample surface to
periodically excite the sample. A probe beam is focused onto the sample
surface within the periodically excited area. The power of the reflected
probe beam is measured by a photodetector. The output of the photodetector
is filtered and processed to derive the modulated optical reflectivity of
the sample. Measurements are taken at a plurality of pump beam modulation
frequencies. In addition, measurements are taken as the lateral separation
between the pump and probe beam spots on the sample surface is varied. The
measurements at multiple modulation frequencies and at different lateral
beam spot spacings are used to help characterize complex multilayer
samples. In the preferred embodiment, a spectrometer is also included to
provide additional data for characterizing the sample.
Un aparato para caracterizar muestras de múltiples capas se divulga. Una viga modulada intensidad de la bomba se enfoca sobre la superficie de la muestra para excitar periódicamente la muestra. Una viga de la punta de prueba se enfoca sobre la superficie de la muestra dentro del área periódicamente excitada. La energía de la viga reflejada de la punta de prueba es medida por un fotodetector. La salida del fotodetector se filtra y se procesa para derivar la reflectividad óptica modulada de la muestra. Las medidas se toman en una pluralidad de frecuencias de la modulación de la viga de la bomba. Además, se toman las medidas mientras que la separación lateral entre la bomba y los puntos de la viga de la punta de prueba en la superficie de la muestra se varía. Las medidas en las frecuencias múltiples de la modulación y en diversos espaciamientos laterales del punto de la viga se utilizan para ayudar a caracterizar muestras de múltiples capas complejas. En la encarnación preferida, un espectrómetro también se incluye para proporcionar los datos adicionales para caracterizar la muestra.
