An apparatus is disclosed for obtaining ellipsometric measurements from a
sample. A probe beam is focused onto the sample to create a spread of
angles of incidence. The beam is passed through a quarter waveplate
retarder and a polarizer. The reflected beam is measured by a detector. In
one preferred embodiment, the detector includes eight radially arranged
segments, each segment generating an output which represents an
integration of multiple angle of incidence. A processor manipulates the
output from the various segments to derive ellipsometric information.
Een apparaat wordt onthuld voor het verkrijgen van ellipsometrische metingen uit een steekproef. Een sondestraal wordt geconcentreerd op de steekproef om tot een verspreiding van invalshoeken te leiden. De straal wordt overgegaan door een kwart waveplate vertrager en een polarisator. De weerspiegelde straal wordt gemeten door een detector. In één aangewezen belichaming, omvat de detector acht radiaal geschikte segmenten, elk segment dat een output produceert die een integratie van veelvoudige invalshoek vertegenwoordigt. Een bewerker manipuleert de output van de diverse segmenten om ellipsometrische informatie af te leiden.
