There is provided a displacement measuring device of which assembled state
can be determined optically with ease. There is also provided a light spot
position sensor usefully applicable in determination of the assembled
state of the displacement measuring device. An optical encoder comprises a
scale and a sensor head that is arranged opposite to the scale and can
move relative to the scale. The sensor head includes a sensor substrate,
on which an index grating and a photosensitive device array are formed.
The sensor substrate is also employed to mount a light spot position
sensor and a light source for providing a light beam entering the light
spot position sensor via the scale to configure a state detection system
for detecting an assembled state.
On fournit un appareil de mesure de déplacement dont a assemblé l'état peut être déterminé optiquement avec la facilité. On fournit également une sonde de position légère de tache utilement applicable dans la détermination de l'état assemblé de l'appareil de mesure de déplacement. Un encodeur optique comporte une balance et une tête de sonde qui est arrangée vis-à-vis la balance et peut se déplacer relativement à la balance. La tête de sonde inclut un substrat de sonde, sur lequel un râpage d'index et une rangée de dispositif photosensible sont formés. Le substrat de sonde est également utilisé pour monter une sonde de position légère de tache et une source lumineuse pour fournir un faisceau lumineux entrant dans la sonde de position légère de tache par l'intermédiaire de la balance pour configurer un système de détection d'état pour détecter un état assemblé.
