Method for precision-processing a fine structure

   
   

A two-dimensional crystalline film of ferritin 4 holding iron-oxide cores 1 is formed on a silicon substrate 6. The silicon substrate 6 is then etched by using at least the cores 1 as an etching mask. Since the cores 1 have a small diameter of 6 nm, a fine structure can be formed on the substrate, enabling manufacturing of a semiconductor light-emitting element and various semiconductor devices using a quantum effect.

Een tweedimensionale kristallijne film van ferritin 4 die ijzer-oxyde kernen 1 houdt wordt gevormd op een siliciumsubstraat 6. Siliciumsubstraat 6 wordt dan geëtst door minstens kernen 1 als etsmasker te gebruiken. Aangezien kernen 1 een kleine diameter van 6 NM hebben, kan een fijne structuur op het substraat worden gevormd, toelatend productie van een halfgeleider lichtgevend element en diverse halfgeleiderapparaten gebruikend een quantumeffect.

 
Web www.patentalert.com

< Vertical cavity laser including inorganic spacer layers

< Semiconductor device provided with semiconductor circuit made of semiconductor element and method of fabricating the same

> Silicon nitride film, and semiconductor device and method of manufacturing the same

> Active matrix display device and mobile terminal using the device

~ 00154