Interferometer and interferance measurement method

   
   

There is provided an interferometer for measuring a surface shape of an optical element using interference, including a reference wave-front deformation system for deforming a wave front of reference light.

Обеспечено интерферометру для измерять поверхностную форму оптически элемента использующ взаимодействие, включая систему деформации wave-front справки для деформировать фронт волны света справки.

 
Web www.patentalert.com

< Sheet treating apparatus and image forming apparatus

< Exposure method and apparatus

> Optical element and optical apparatus

> Image forming apparatus

~ 00156