Semiconductor device and method of fabricating semiconductor device with high CMP uniformity and resistance to loss that occurs in dicing

   
   

In the semiconductor device of the present invention, a plurality of dummy patterns are formed in a grid arrangement in the scribe line areas of a wafer, and a plurality of dummy patterns are formed in a diagonally forward skipped arrangement in the chip interior areas of the wafer. Altering the arrangement of dummy patterns in the chip interior areas and scribe line areas in this way enables formation of dummy patterns with greater uniformity in the chip interior areas and enables formation of dummy patterns with greater resistance to loss that occurs when dicing in scribe line areas.

В прибора на полупроводниках присытствыющего вымысла, множественность думмичных картин сформирована в расположении решетки в зонах линии подьячей вафли, и множественность думмичных картин сформирована в раскосно вперед прыгнутом расположении в зонах обломока нутряных вафли. Изменять расположение думмичных картин в зонах обломока нутряных и зон линии подьячей в этой дороге включает образование думмичных картин с большим единообразием в зонах обломока нутряных и включает образование думмичных картин с большим сопротивлением к потере происходит dicing в зонах линии подьячей.

 
Web www.patentalert.com

< Method and device for protecting micro electromechanical systems structures during dicing of a wafer

< Method and apparatus for dicing released MEMS wafers

> Chip dicing

> Techniques for dicing substrates during integrated circuit fabrication

~ 00156