There is a sensor element (24) for an electronic sensor device (20). The
sensor element (24) may have a substrate (43), a pair of proof masses
(34a, 34b), a set of drive beams (44), and at least one base beam (46).
The pair of proof masses (34a, 34b) are suspended above the substrate (43)
and attached to the substrate (43) at fixed anchor points (50). The set of
drive beams (44) are positioned between the proof masses (34a, 34b) and
the anchor points (50). Each drive beam (44) has a first longitudinal body
portion (62) that extends in a first direction and a first flexible spring
member (64) that extends along a second direction. The base beam (46)
interconnects the set of drive beams (44) and has a second longitudinal
body portion (72) and a second flexible spring member (74). The second
longitudinal body portion (72) extends along the second direction and the
second flexible spring member (74) extends along the first direction. The
first and second flexible spring members (64, 74) may be serpentine in
shape, such as folded beam-columns or wrinkle springs.
Hay un elemento del sensor (24) para un dispositivo electrónico del sensor (20). El elemento del sensor (24) puede tener un substrato (43), un par de las masas de la prueba (34a, 34b), un sistema de las vigas de la impulsión (44), y por lo menos una viga baja (46). El par de las masas de la prueba (34a, 34b) se suspende sobre el substrato (43) y se une al substrato (43) en los puntos de anclaje fijos (50). El sistema de vigas de la impulsión (44) se coloca entre las masas de la prueba (34a, 34b) y los puntos de anclaje (50). Cada viga de la impulsión (44) tiene una primera porción longitudinal del cuerpo (62) que extienda en una primera dirección y un primer miembro flexible del resorte (64) que extienda a lo largo de una segunda dirección. La viga baja (46) interconecta el sistema de vigas de la impulsión (44) y tiene una segunda porción longitudinal del cuerpo (72) y un segundo miembro flexible del resorte (74). La segunda porción longitudinal del cuerpo (72) extiende a lo largo de la segunda dirección y el segundo miembro flexible del resorte (74) extiende a lo largo de la primera dirección. Los primeros y segundos miembros flexibles del resorte (64, 74) pueden ser serpentinos en forma, tal como viga-columnas o resortes doblados de la arruga.
