A system and method for leak testing a plurality of hermetic electronic
packages of the type that have an internal chamber that is isolated from
ambient conditions by a seal structure is advantageously designed to be
able to calculate the leak rate of each individual device in a manner that
is independent of structural manufacturing variances that typically exist
within a sampling of such devices. The method preferably involves
positioning a plurality of the hermetic electronic packages within a test
area, and then stimulating the hermetic electronic packages with a
modulated input of energy, such as by varying the ambient pressure about
the devices. A property such as the physical position of one portion of a
lid of each of the hermetic electronic packages is then sensed. The sensed
property is one that is known to change as a first function of the
modulated input of energy and also as a second function of pressure
conditions within the hermetically sealed internal chamber. The first and
second functions are linearly independent of each other. By comparing the
stimulation of the devices to the sensed property and by discriminating
using the two known functions a leak rate is determined for each
individual device that is substantially independent of variances, such as
differences in lid thickness that may exist between the different devices.
Accordingly, an accurate determination of leak rate may be made with a
minimum of calibration.
Een systeem en methode die voor lek een meerderheid van hermetische elektronische pakketten van het type een testen die een interne kamer hebben die van omringende voorwaarden door een verbindingsstructuur wordt geïsoleerd worden voordelig ontworpen het lektarief van elk individueel apparaat op een manier kunnen berekenen die van structurele productieverschillen onafhankelijk is die typisch binnen een bemonstering van dergelijke apparaten bestaan. De methode houdt bij voorkeur het plaatsen van een meerderheid van de hermetische elektronische pakketten binnen een testgebied, en dan het bevorderen van de hermetische elektronische pakketten met een gemoduleerde input van energie, zulke zoals door de omringende druk over de apparaten in te variëren. Een bezit zoals de fysieke positie van één gedeelte van een deksel van elk van de hermetische elektronische pakketten wordt dan ontdekt. Het ontdekte bezit is één die gekend om als eerste functie van de gemoduleerde input van energie en ook als tweede functie van drukvoorwaarden binnen de hermetisch verzegelde interne kamer is te veranderen. De eerste en tweede functies zijn lineair onafhankelijk van elkaar. Door de stimulatie van de apparaten bij het ontdekte bezit te vergelijken en door te onderscheiden gebruikend de twee bekende functies wordt een lektarief bepaald voor elk individueel apparaat dat van verschillen, zoals verschillen in dekseldikte wezenlijk onafhankelijk is die tussen de verschillende apparaten kan bestaan. Dienovereenkomstig, kan een nauwkeurig besluit van lektarief met een minimum van kaliberbepaling worden opgesteld.
