A prober of this invention includes a probe card, a main chuck, a shaft
member fixed on and extending downwardly from the main chuck, an X table
and Y table for retaining the shaft member by use of a guide to be freely
movable in a vertical direction, and a contact body fixed on the shaft
member. The undersurface of the contact body is made parallel to the
mounting surface of the main chuck. The prober further includes an
elevation body whose center coincides with an extension line downwardly
extending from the test center of the probe card, and an elevation body
elevating mechanism for vertically moving the elevation body and a ball
provided on the upper portion of the elevation body is slidably set in
contact with the undersurface of the contact body.
Un prober de esta invención incluye una tarjeta de la punta de prueba, una tirada principal, un miembro del eje fijado encendido y extendiendo hacia abajo de la tirada principal, una tabla de X y tabla de Y para conservar al miembro del eje por medio de una guía para ser libremente mueble en una dirección vertical, y un cuerpo del contacto fijado en el miembro del eje. La cara interior del cuerpo del contacto se hace paralela a la superficie de montaje de la tirada principal. El prober más futuro incluye un cuerpo de la elevación que centro coincida con una línea de extensión hacia abajo que extiende del centro de la prueba de la tarjeta de la punta de prueba, y fijan a un cuerpo de la elevación que eleva el mecanismo para verticalmente mover el cuerpo de la elevación y una bola proporcionados en la porción superior del cuerpo de la elevación slidably en contacto con la cara interior del cuerpo del contacto.
