A method of making resistors includes providing a sacrificial layer.
Conductive material is then formed over a region of the sacrificial layer.
Resistive material is then deposited over the first surface of the
sacrificial layer such that the resistive material covers the sacrificial
layer and the conductive material. A portion of the sacrificial layer is
then removed to expose the conductive material. A method of making
resistors includes the steps of providing a sacrificial layer, removing at
least a portion of the sacrificial layer from regions of the sacrificial
layer so as to create a plurality of cavities within the sacrificial
layer, plating said cavities with a conductive material, disposing
resistive material over the first surface of the sacrificial layer such
that resistive material covers the sacrificial layer and said conductive
material, and removing at least a portion of said sacrificial layer to
expose the conductive material. In another embodiment, a method of making
resistors includes the steps of providing a sacrificial layer having a
roughened first surface and a second surface, depositing resistive
material over the first surface of the sacrificial layer such that the
resistive material covers the first surface of the sacrificial layer, and
selectively etching the sacrificial layer to form electrodes.
Un metodo di i resistori di fabbricazione include fornire uno strato sacrificial. Il materiale conduttivo allora è formato sopra una regione dello strato sacrificial. Il materiale resistente allora è eccedenza depositata la prima superficie dello strato sacrificial tali che il materiale resistente riguarda lo strato sacrificial ed il materiale conduttivo. Una parte dello strato sacrificial allora è rimossa per esporre il materiale conduttivo. Un metodo di i resistori di fabbricazione include i punti di fornire uno strato sacrificial, rimuoventi almeno una parte dello strato sacrificial dalle regioni dello strato sacrificial in modo da generare una pluralità di cavità all'interno dello strato sacrificial, placcante le cavità dette con un materiale conduttivo, disponente dell'eccedenza resistente del materiale la prima superficie dello strato sacrificial tali che il materiale resistente riguarda lo strato sacrificial ed il materiale conduttivo detto e rimuovente almeno una parte dello strato sacrificial detto per esporre il materiale conduttivo. In un altro incorporamento, un metodo di i resistori di fabbricazione include i punti di fornire uno strato sacrificial che ha una prima superficie irruvidita e una seconda superficie, depositanti l'eccedenza resistente del materiale la prima superficie dello strato sacrificial tali che il materiale resistente riguarda la prima superficie dello strato sacrificial ed incidenti selettivamente lo strato all'acquaforte sacrificial per formare gli elettrodi.
