A method and apparatus are described for reducing stiction in a MEMS device
having a movable element and a substrate. The method generally comprises
providing the substrate with an anti-stiction member and interposing the
anti-stiction member between the moveable element and the substrate. The
apparatus generally comprises an anti-stiction member that is interposable
between the moveable element and the substrate. Another embodiment of the
invention of the invention is directed to a MEMS device, comprising: a
substrate, a moveable element moveably coupled to the substrate, and an
anti-stiction member that is interposable between the moveable element and
the substrate. A further embodiment of the invention is directed to an
optical switch having one or more moveable elements moveably coupled to a
substrate, and an anti-stiction member that is interposable between at
least one of the moveable elements and the substrate. The anti-stiction
member may be in the form of a flexible cantilevered structure that
overhangs the moveable element. Actuating the moveable element causes the
anti-stiction member to flex and snap into place between the moveable
element and the substrate. An additional embodiment of the invention is
directed to a method of fabricating a MEMS device. The method proceeds by
providing a silicon-on-insulator (SOI) substrate; defining a moveable
element from a device layer of the SOI substrate; and depositing a
flexible material over the device layer and the moveable element. One or
more portions of the flexible material overhang the moveable element,
whereby the flexible material forms one or more anti-stiction members.
Метод и прибор описаны для уменьшения stiction в приспособлении MEMS имея подвижной элемент и субстрат. Метод вообще состоит из обеспечивать субстрат с членом anti-stiction и interposing член anti-stiction между подвижным элементом и субстратом. Прибор вообще состоит из члена anti-stiction interposable между подвижным элементом и субстратом. Другое воплощение вымысла вымысла направлено к приспособлению MEMS, состоя из: субстрат, подвижной элемент moveably соединенный к субстрату, и член anti-stiction который interposable между подвижным элементом и субстратом. Более последующее воплощение вымысла направлено к оптически переключателю имея one or more подвижные элементы moveably соединенные к субстрату, и члену anti-stiction который interposable между по крайней мере одним из подвижных элементов и субстратом. Член anti-stiction может быть in the form of гибкая контрольная структура свисает подвижной элемент. Срабатывать подвижной элемент причиняет член anti-stiction изогнуть и щелкнуть в место между подвижным элементом и субстратом. Дополнительное воплощение вымысла направлено к методу изготовлять приспособление MEMS. Метод продолжает путем обеспечивать субстрат кремни-на-izol4tora (SOI); определять подвижной элемент от слоя приспособления субстрата SOI; и депозирующ гибкий материал над слоем приспособления и подвижным элементом. One or more части гибкого материального свисания подвижной элемент, whereby гибкий материал формирует one or more члены anti-stiction.
