A placement template and method for placing optical dies provides an
alternative to large-die implementation for microelectromechanical systems
(MEMS). Multiple dies are aligned by a template mounted on the substrate.
Apertures in the template receive the dies and protrusions at the edges of
the apertures guide the dies during mounting. The protrusions may be
tapered having a narrow end farthest from the substrate to provide
self-alignment of the dies as they are placed. The template may be
epitaxially grown from a semiconductor material on either the substrate or
a backing layer. The template may also be etched, stamped or otherwise
formed from a metal or ceramic layer. A separate template may be bonded to
a ceramic or other substrate by an eutectoid bond, providing carefully
controlled template placement on the substrate.
Una mascherina e un metodo di disposizione per la disposizione dei dadi ottici fornisce un'alternativa a gran-muoiono l'esecuzione per i sistemi microelectromechanical (MEMS). I dadi multipli sono stati allineati da una mascherina montata sul substrato. Le aperture nella mascherina ricevono i dadi e le sporgenze ai bordi delle aperture guidano i dadi durante il montaggio. Le sporgenze possono essere affusolate avendo un'estremità stretta il più lontano dal substrato per fornire l'auto-allineamento dei dadi mentre sono disposte. La mascherina può epitassiale svilupparsi da un materiale a semiconduttore sul substrato o su uno strato della protezione. La mascherina può anche essere incisa, timbrata o essere formata al contrario da un metallo o da uno strato di ceramica. Una mascherina separata può essere legata ad un substrato di ceramica o altro da un legame del eutectoid, fornente la disposizione con attenzione controllata della mascherina sul substrato.
