The present invention comprises a vacuum end effector having workpiece
supports that work in conjunction with distorted workpiece surfaces. In
one embodiment, each workpiece support has the ability to gimbal and
conform the workpiece surface in contact with an outer edge of the
support. Each workpiece support preferably provides a knife-like contact
edge to minimize the contact area between the support and the workpiece
while still providing an effective vacuum area to hold the wafer securely
on the support. In another embodiment, each workpiece support is
replaceable without having to remove the end effector from the robot
assembly
Присытствыющий вымысел состоит из конца вакуума эффекторного имеющ поддержки workpiece работают совместно с передернутыми поверхностями workpiece. В одном воплощении, каждая поддержка workpiece имеет способность к карданному подвесу и соответствует поверхность workpiece in contact with наружный край поддержки. Каждая поддержка workpiece предпочтительн обеспечивает а нож-kak край контакта для того чтобы уменьшить зону контакта между поддержкой и workpiece пока все еще обеспечивающ, что эффективная зона вакуума держала вафлю обеспеченно на поддержке. В другом воплощении, каждая поддержка workpiece меняема без извлечь конец эффекторный от агрегата робота
