A method for operation of an exposure tool in the fabrication of an
integrated circuit to control registration between a preceding layer of
and a succeeding layer. The preceding layer having a first alignment mark
and a first registration mark. The succeeding layer is aligned to the
preceding layer using an exposure tool. The succeeding layer has a second
alignment mark and a second registration mark. The exposure tool measures
alignment of the first alignment mark relative to the second alignment
mark. After additional process steps are performed, a measurement tool
measures registration relating to relative positions of the first
registration mark and the second registration mark. Both the alignment
information from the exposure tool and the registration information from
the measurement tool is analyzed to determine corrections to improve
registration between the layers, and the operation of the exposure tool is
altered to improve registration.
Метод для деятельности инструмента выдержки в изготовлении интегрированной цепи для того чтобы контролировать зарегистрирование между предшествующим слоем и преуспевая слоем. Предшествующий слой имея первую метку выравнивания и первую метку зарегистрирования. Преуспевая слой выровнян к предшествующему слою использующ инструмент выдержки. Преуспевая слой имеет вторую метку выравнивания и вторую метку зарегистрирования. Инструмент выдержки измеряет выравнивание первой метки выравнивания по отношению к второй метке выравнивания. После того как дополнительные отростчатые шаги выполнены, инструмент измерения измеряет зарегистрирование relating to относительные положения первой метки зарегистрирования и второй метки зарегистрирования. И данные по выравнивания от инструмента выдержки и данные по зарегистрирования от инструмента измерения проанализированы для того чтобы обусловить коррекции для того чтобы улучшить зарегистрирование между слоями, и деятельность инструмента выдержки изменена для того чтобы улучшить зарегистрирование.
