An excimer or molecular fluorine laser system includes a discharge chamber
filled with a laser gas mixture at least including a halogen-containing
molecular species and a buffer gas, multiple electrodes within the
discharge chamber connected to a discharge circuit for energizing the gas
mixture, and a resonator for generating a laser beam including an optical
component made of MgF.sub.2. The optical component made of MgF.sub.2 has
been previously cleaved along a predetermined plane, such that the
refractive indices of the birefringent MgF.sub.2 material for orthogonal
polarization components of the beam are either at least approximately
equal so that the polarization of the beam due to the influence of the
birefringent nature of the MgF.sub.2 material is not substantially
reduced, or are approximately maximum so that at least a portion of one of
the components is rejected by the resonator so that the polarization of
the beam is increased due to the birefringent nature of the MgF.sub.2.
Excimer или молекулярная система лазера фтора вклюают камеру разрядки заполненную с газовой смесью лазера по крайней мере включая halogen-containing молекулярный вид и газ буфера, множественные электроды внутри камера разрядки подключенная к разрядке обходит вокруг для подпитывать газовую смесь, и резонатора для производить лазерныйа луч включая оптически компонент сделанный MgF.sub.2. Оптически компонент сделанный MgF.sub.2 ранее был вдоль предопределенной плоскости, такого что рефрактивные индексы birefringent материала MgF.sub.2 для ортогональных компонентов поляризации луча тем по крайней мере приблизительно равный так, что поляризация луча должного к влиянию birefringent природы материала MgF.sub.2 существенн не будет уменьшена, или приблизительно максимальны так, что по крайней мере часть одного из компонентов будет излучена резонатором так, что поляризация луча будет увеличенные должными к birefringent природе MgF.sub.2.
