Apparatus and method for loading of carriers containing semiconductor wafers and other media

   
   

An apparatus for loading media carriers into a processing chamber, including a pivoting arm mechanism which accepts a carrier in at a lower position, locks it on the arm, and provides a power-assisted movement of the carrier lifting it into an upper position proximate the opening to the processing chamber, where the arm is locked in place, with the carrier then pushed along a ramp on the arm directly into the processing chamber.

Un aparato para los portadores de los medios del cargamento en un compartimiento de proceso, incluyendo un mecanismo del brazo que gira que acepte un portador adentro en una posición más baja, las cerraduras en el brazo, y proporciona un movimiento energi'a-asistido del portador que lo levanta en una posición superior próxima la abertura al compartimiento de proceso, donde el brazo se traba en lugar, del portador después empujado a lo largo de una rampa respecto al brazo directamente en el compartimiento de proceso.

 
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< Method for filling recessed micro-structures with metallization in the production of a microelectronic device

< Apparatus and method for electrolytically depositing copper on a semiconductor workpiece

> Methods for removing metallic contamination from wafer containers

> Process and apparatus for treating a workpiece such as a semiconductor wafer

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