A monitor data acquisition section acquires a plurality of monitor data
relating to a processing state of one sample in a processing apparatus,
via sensors. A data selection section selects monitor data belonging to an
arbitrary processing division included in a plurality of processing
divisions for the sample, from among the plurality of monitor data. A
monitoring signal generation section generates monitoring signals based on
the monitor data belonging to the arbitrary processing division selected
by the data selection section. A display setting controller displays a
plurality of monitoring signals obtained with respect to samples processed
in the processing apparatus, on a display section in a time series manner.
Une section d'acquisition de données de moniteur acquiert une pluralité de données de moniteur concernant un état de traitement d'un échantillon dans un appareil de traitement, par l'intermédiaire des sondes. Une section de choix de données choisit des données de moniteur appartenant à une division de traitement arbitraire incluse dans une pluralité de divisions de traitement pour l'échantillon, à partir parmi la pluralité de données de moniteur. Une section de surveillance de génération de signal produit de surveiller des signaux basés sur les données de moniteur appartenant à la division de traitement arbitraire choisie par la section de choix de données. Un affichage plaçant le contrôleur montre une pluralité de surveiller des signaux obtenus en ce qui concerne des échantillons traités dans l'appareil de traitement, sur une section d'affichage d'une façon de série chronologique.
