Device and method for the examination of thin layers

   
   

Device for the measurement of thickness changes as well as changes of the physicochemical characteristics of thin layers. The system consists of a preferably monochromatic source of light, a scanning mirror, a preferably on one side metallized prism and a photodetector array. The thin layer is irradiated with light at different angles through the prism by means of the scanning mirror. The reflected image of the layer shows with certain incidence angles when choosing a suitable wavelength, polarization and if needed the metal and the film thickness, resonance-caused intensity fluctuations, by which the layer thickness and refractive index can be calculated.

Het apparaat voor de meting van dikte verandert evenals veranderingen van de fysico-chemische kenmerken van dunne lagen. Het systeem bestaat uit een bij voorkeur monochromatische bron van licht, een aftastenspiegel, a bij voorkeur op één kant gemetalliseerd prisma en een fotodetectorserie. Thin.layer wordt bestraald met licht bij verschillende hoeken door het prisma door middel van de aftastenspiegel. Het weerspiegelde beeld van de laag toont met bepaalde weerslaghoeken wanneer het kiezen van een geschikte golflengte, polarisatie en indien nodig het metaal en de filmdikte, intensiteitsschommelingen resonantie-veroorzaaktde, waardoor de laagdikte en r i kunnen worden berekend.

 
Web www.patentalert.com

< Apparatus and method for total internal reflection spectroscopy

< SPR sensor and SPR sensor array

> Method for the photometric analysis of test elements

> Imaging system using polarization effects to enhance image quality

~ 00172