Device for the measurement of thickness changes as well as changes of the
physicochemical characteristics of thin layers. The system consists of a
preferably monochromatic source of light, a scanning mirror, a preferably
on one side metallized prism and a photodetector array. The thin layer is
irradiated with light at different angles through the prism by means of
the scanning mirror. The reflected image of the layer shows with certain
incidence angles when choosing a suitable wavelength, polarization and if
needed the metal and the film thickness, resonance-caused intensity
fluctuations, by which the layer thickness and refractive index can be
calculated.
Het apparaat voor de meting van dikte verandert evenals veranderingen van de fysico-chemische kenmerken van dunne lagen. Het systeem bestaat uit een bij voorkeur monochromatische bron van licht, een aftastenspiegel, a bij voorkeur op één kant gemetalliseerd prisma en een fotodetectorserie. Thin.layer wordt bestraald met licht bij verschillende hoeken door het prisma door middel van de aftastenspiegel. Het weerspiegelde beeld van de laag toont met bepaalde weerslaghoeken wanneer het kiezen van een geschikte golflengte, polarisatie en indien nodig het metaal en de filmdikte, intensiteitsschommelingen resonantie-veroorzaaktde, waardoor de laagdikte en r i kunnen worden berekend.
