The invention uses the phase shifting diffraction interferometer (PSDI) to
provide a true point-by-point measurement of absolute flatness over the
surface of optical flats. Beams exiting the fiber optics in a PSDI have
perfect spherical wavefronts. The measurement beam is reflected from the
optical flat and passed through an auxiliary optic to then be combined
with the reference beam on a CCD. The combined beams include phase errors
due to both the optic under test and the auxiliary optic. Standard phase
extraction algorithms are used to calculate this combined phase error. The
optical flat is then removed from the system and the measurement fiber is
moved to recombine the two beams. The newly combined beams include only
the phase errors due to the auxiliary optic. When the second phase
measurement is subtracted from the first phase measurement, the absolute
phase error of the optical flat is obtained.
Die Erfindung benutzt das Phase verschiebenbeugunginterferometer (PSDI) um einen zutreffenden Punkt vom Punktmaß der absoluten Flachheit über der Oberfläche der optischen Planflächen zur Verfügung zu stellen. Die Lichtstrahlen, welche die Faseroptik in einem PSDI herausnehmen, haben vollkommene kugelförmige Wavefronts. Der Maßlichtstrahl wird von der optischen Planfläche reflektiert und geführt durch einen Helfer, der, mit dem Bezugslichtstrahl auf einem CCD dann kombiniert zu werden Optik ist. Die kombinierten Lichtstrahlen schließen die Phasenabweichungen wegen des Optik Optikuntertests und des Helfers ein. Standardphase Extraktionalgorithmen werden verwendet, um diese kombinierte Phasenabweichung zu errechnen. Die optische Planfläche wird dann vom System entfernt und die Maßfaser wird verschoben, um die zwei Lichtstrahlen wiederzuverbinden. Die eben kombinierten Lichtstrahlen schließen nur die Phasenabweichungen wegen des Optik Helfers ein. Wenn das zweite Phase Maß vom ersten Phase Maß subtrahiert wird, wird die absolute Phasenabweichung der optischen Planfläche erhalten.
