Method and system for securing and controlling an electro-statically driven micro-mirror

   
   

An electrically actuated micro-mirror system is disclosed. The system has at least three supporting springs attached to a micro-mirror providing at least two rotational degrees of freedom thereof. At least two optional enhancement springs are fanned out from an associated supporting spring to secure the micro-mirror, and the micro-mirror is electro-statically actuated to rotate while the supporting springs and the enhancement springs operate primarily in a tensile mode.

Ένα ηλεκτρικά ωθημένο σύστημα μικροϋπολογιστής-καθρεφτών αποκαλύπτεται. Το σύστημα συνδέεται τουλάχιστον τρία ενισχυτικά ελατήρια με έναν μικροϋπολογιστής-καθρέφτη που παρέχει τουλάχιστον δύο περιστροφικούς βαθμούς ελευθερίας επ' αυτού. Τουλάχιστον δύο προαιρετικά ελατήρια αυξήσεων αερίζονται έξω από ένα σχετικό ενισχυτικό ελατήριο για να εξασφαλίσουν το μικροϋπολογιστής-καθρέφτη, και ο μικροϋπολογιστής-καθρέφτης ωθείται electro-statically για να περιστραφεί ενώ τα ενισχυτικά ελατήρια και τα ελατήρια αυξήσεων λειτουργούν πρώτιστα σε έναν εκτατό τρόπο.

 
Web www.patentalert.com

< Polishing machine and method

< Anticancer anthraquinones and method of use thereof

> Absolute calibration of optical flats

> Programmable logic devices with stabilized configuration cells for reduced soft error rates

~ 00173