A method and structure for forming a refractory metal liner, includes
depositing a layer of refractory metal on a first conductive layer, at
least half of the depositing being carried out in the presence of an
amount of passivating agent that is sufficient to impede subsequent
reaction of at least a top half of the layer of refractory metal with the
first conductive layer and is less than an amount of passivating agent
necessary to form a stoichiometric refractory metal with the passivating
agent, and annealing the refractory metal and the first conductive layer
in a first element ambient, thereby forming a stoichiometric refractory
metal with the first element in at least a portion of the top half of the
layer of refractory metal.
Μια μέθοδος και μια δομή για τη διαμόρφωση ενός πυρίμαχου σκάφους της γραμμής μετάλλων, περιλαμβάνουν την εναπόθεση ενός στρώματος του πυρίμαχου μετάλλου σε ένα πρώτο αγώγιμο στρώμα, τουλάχιστον μισό του πραγματοποίησης της κατάθεσης παρουσία ενός ποσού παθητικοποίησης του πράκτορα που είναι επαρκής για να εμποδίσει την επόμενη αντίδραση τουλάχιστον ενός κορυφαίου δευτέρου του στρώματος του πυρίμαχου μετάλλου με το πρώτο αγώγιμο στρώμα και είναι ένα λιγότερο από ποσό παθητικοποίησης του πράκτορα απαραίτητο να διαμορφώσει ένα στοιχειομετρικό πυρίμαχο μέταλλο με τον παθητικοποιώντας πράκτορα, και ανόπτησης του πυρίμαχου μετάλλου και του πρώτου αγώγιμου στρώματος σε ένα πρώτο στοιχείο περιβαλλοντικό, με αυτόν τον τρόπο διαμορφώνοντας ένα στοιχειομετρικό πυρίμαχο μέταλλο με το πρώτο στοιχείο τουλάχιστον σε μια μερίδα της κορυφής στρώμα του πυρίμαχου μετάλλου.
