Semiconductor device with analog capacitor and method of fabricating the same

   
   

A semiconductor device having an analog capacitor and a method of fabricating the same are disclosed. The semiconductor device includes a bottom plate electrode disposed at a predetermined region of a semiconductor substrate, and an upper plate electrode having a region overlapped with the bottom plate electrode thereon. The upper plate electrode and the bottom plate electrode are formed of a metal compound. A capacitor dielectric layer is interposed between the bottom plate electrode and the upper plate electrode. A bottom electrode plug and an upper electrode plug are connected to the bottom plate electrode and the upper plate electrode through the interlayer dielectric layer.

Μια συσκευή ημιαγωγών που έχουν έναν αναλογικό πυκνωτή και μια μέθοδος το ίδιο πράγμα αποκαλύπτονται. Η συσκευή ημιαγωγών περιλαμβάνει ένα ηλεκτρόδιο κατώτατων πιάτων που διατίθεται σε μια προκαθορισμένη περιοχή ενός υποστρώματος ημιαγωγών, και ένα ανώτερο ηλεκτρόδιο πιάτων που έχει μια περιοχή επικάλυψε με το ηλεκτρόδιο κατώτατων πιάτων επ'αυτού. Το ανώτερο ηλεκτρόδιο πιάτων και το ηλεκτρόδιο κατώτατων πιάτων διαμορφώνονται μιας ένωσης μετάλλων. Ένα διηλεκτρικό στρώμα πυκνωτών παρεμβάλλεται μεταξύ του ηλεκτροδίου κατώτατων πιάτων και του ανώτερου ηλεκτροδίου πιάτων. Ένα βούλωμα κατώτατων ηλεκτροδίων και ένα ανώτερο βούλωμα ηλεκτροδίων συνδέονται με το ηλεκτρόδιο κατώτατων πιάτων και το ανώτερο ηλεκτρόδιο πιάτων μέσω του διηλεκτρικού στρώματος ενδιάμεσων στρωμάτων.

 
Web www.patentalert.com

< Method for manufacturing semiconductor devices and integrated circuit capacitors whereby degradation of surface morphology of a metal layer from thermal oxidation is suppressed

< Method of producing electronic unit of radio system and electronic unit

> Electrically-programmable non-volatile memory cell

> Method and apparatus for a flash memory device comprising a source local interconnect

~ 00175