The polishing slurry includes polishing particles having a mean particle diameter of less than about 5 .mu.m. The slurry contains at least about 0.5 weight percent oxidizer selected from at least one of the group consisting of HNO.sub.3, Ni(NO.sub.3).sub.2, Al(NO.sub.3).sub.3, Mg(NO.sub.3).sub.2, Zn(NO.sub.3).sub.2 and NH.sub.4 NO.sub.3. A small but effective amount of a co-oxidizer selected from the group consisting of perbromates, perchlorates, periodates, persulfates, permanganates and ferric nitrate accelerates removal of substrates; and water forms the balance of the aqueous slurry.

A pasta lustrando inclui as partículas lustrando que têm um diâmetro médio da partícula menos do que do mu.m aproximadamente 5. A pasta contem ao menos o oxidizer dos por cento de aproximadamente 0.5 peso selecionado ao menos de um do grupo que consiste em HNO.sub.3, em Ni(NO.sub.3).sub.2, em Al(NO.sub.3).sub.3, em Mg(NO.sub.3).sub.2, em Zn(NO.sub.3).sub.2 e em NH.sub.4 NO.sub.3. Uma quantidade pequena mas eficaz de um co-co-oxidizer selecionado dos perbromates consistindo do grupo, dos perchlorates, dos periodates, dos persulfates, dos permanganates e do nitrate férrico acelera a remoção das carcaças; e a água dá forma ao contrapeso da pasta aqueous.