Described herein is a method of manufacturing a semiconductor device
according to the invention of the present application. According to the
method, protruded electrodes are formed on a plurality of chip areas of a
wafer having the plurality of chip areas on the surface thereof. Grooves
are defined in boundary regions of the plurality of chip areas.
Thereafter, the surface of the wafer with the grooves defined therein is
covered with a resin. The back of the wafer is polished to expose the
grooves from the back thereof. Next, the wafer is divided into pieces at
the exposed groove portions. Since the grooves are bare from the back of
the wafer in this way, the positions where the wafer is divided into the
pieces, can be recognized with ease and reliability.
É descrito nisto um método de manufaturar um dispositivo de semicondutor de acordo com a invenção da aplicação atual. De acordo com o método, os elétrodos projetados são dados forma em um plurality de áreas da microplaqueta de um wafer que tem o plurality de áreas da microplaqueta na superfície disso. Os sulcos são definidos em regiões do limite do plurality de áreas da microplaqueta. Depois disso, a superfície do wafer com os sulcos definidos nisso é coberta com uma resina. A parte traseira do wafer é lustrada para expo os sulcos da parte traseira disso. Em seguida, o wafer é dividido em partes nas parcelas expostas do sulco. Desde que os sulcos estão desencapados da parte traseira do wafer nesta maneira, as posições onde o wafer é dividido nas partes, podem ser reconhecidas com facilidade e confiabilidade.