In an apparatus for evaluating an anisotropic thin film, an optical system generates a light beam having a predetermined diameter and polaraization state to project the light beam as incident light into a thin film sample corresponding to the anisotropic thin film. An analyzer is disposed at an optically down stream side of the thin film sample. At an optically down stream side of the analyzer, a two-dimensional photo-intensity detector is disposed to detect reflected light, obtained from the thin film sample, through the analyzer. The detector produces a light intensity distribution. On the basis of the light intensity distribution, an evaluating unit evaluates an inplane distribution of an optical anisotropy of the thin film sample.

In un apparecchio per la valutazione della pellicola sottile anisotropa, un sistema ottico genera un raggio di luce che ha un diametro predeterminato ed il polaraization dichiara per proiettare il raggio di luce come luce di avvenimento in un campione della pellicola sottile che corrisponde alla pellicola sottile anisotropa. Un analizzatore è disposto di otticamente giù su un lato di flusso del campione della pellicola sottile. Otticamente giù su un lato di flusso dell'analizzatore, un rivelatore bidimensionale di foto-intensità è disposto di per rilevare ha riflesso la luce, ottenuta dal campione della pellicola sottile, attraverso l'analizzatore. Il rivelatore produce una distribuzione di intensità della luce della luce. In base alla distribuzione di intensità della luce della luce, un'unità di valutazione valuta una distribuzione del inplane di un'anisotropia ottica del campione della pellicola sottile.