An edge-gripping wafer handling apparatus for holding and transporting wafers in a clean room environment is implemented by mounting gripping fingers on a paddle arm adapted to be controlled by a robot. At the free end of the paddle arm, a plurality of fixed fingers is mounted. Each of these fixed fingers includes a notch for gripping the edge of a wafer. A moving finger is mounted close to the fixed end of the paddle arm. The moving finger can be smoothly moved to engage the edge of the wafer and cause the opposite edge of the wafer to engage the fixed fingers. The movement of the moving finger is caused by a bellows flexing a hinge connected to the finger. The flexing hinge is formed as a parallelogram of two stable ends and two flexing arms. The movement of the hinge is smooth and causes no particulate matter to be generated due to rubbing or other friction generating mechanism.

Кра-edge-gripping вафля регулируя прибор для держать и транспортировать вафли в чистой окружающей среде комнаты снабжена путем устанавливать gripping перста на рукоятке затвора приспособленной быть проконтролированным роботом. На свободно конце рукоятки затвора, установлена множественность фикчированных перстов. Каждый из этих фикчированных перстов вклюает зазубрину для сжимать край вафли. Moving перст установлен close to фикчированный конец рукоятки затвора. Moving перст можно ровно двинуть для того чтобы включить край вафли и причинить противоположный край вафли включить фикчированные перста. Причиняют движение moving перста сильфоном изгибая шарнир соединенный к персту. Изгибая шарнир сформирован как параллелограмм 2 стабилизированных концов и 2 изгибая рукояток. Движением шарнира ровно и не причиняет никакое частичное дело быть произведенные должными к затиранию или другим трением производя механизм.