A wafer transferring robot capable of restraining the vibration of wafers during the transfer. The robot comprises a rotating base (2) rotatable on a base (1), two horizontally extensible robot arms (3A, 3B) arranged laterally symmetrically to each other on the rotating base (2) and comprising first arms (32A, 32B), second arms (33A, 33B), and third arms (34A, 34B), respectively, and chucks (4A, 4B), fixed to the third arms (34A, 34B), respectively; wherein the lower surface of the second arm (33B) of one robot arm (3B) is higher than the upper surface of the wafer (WA) held over the third arm (34A) of the other robot arm (3A) via the chuck. Accordingly, the rigidity of transferring parts can be so enhanced that the vibration of wafers (WA, WB) can be prevented.

Un robot de transfert de gaufrette capable de retenir la vibration des gaufrettes pendant le transfert. Le robot comporte une base tournante (2) rotative sur des (1), deux horizontalement bras extensibles bas de robot (3A, 3B) disposés latéralement symétriquement entre eux sur la base tournante (2) et comporter les premiers bras (32A, 32B), les deuxièmes bras (33A, 33B), et les troisième bras (34A, 34B), respectivement, et les mandrins (4A, 4B), fixés aux troisième bras (34A, 34B), respectivement ; où l'intrados du deuxième bras (33B) d'un bras de robot (3B) est plus haut que l'extrados de l'excédent tenu de la gaufrette (WA) le troisième bras (34A) de l'autre bras de robot (3A) par l'intermédiaire du mandrin. En conséquence, la rigidité des pièces de transfert peut être ainsi a augmenté que la vibration des gaufrettes (WA, WB) peut être empêchée.