A substrate transport apparatus having a drive section and a movable arm assembly connected to the drive section. The drive section has a coaxial drive shaft assembly with independently rotatable drive shafts. The movable arm assembly has two scara arms. Each scara arm has an inner arm connected to a separate respective one of the drive shafts. An outer arm of each scara arm is connected to a rotationally stationary pulley on the drive section by respective transmission belts.

Ein Substrattransportapparat, der einen Antrieb Abschnitt und einen beweglichen Arm angeschlossen an den Antrieb Abschnitt hat. Der Antrieb Abschnitt hat eine Koaxialantriebsachse mit unabhängig drehbaren Antriebsachsen. Der bewegliche Arm hat zwei scara Arme. Jeder scara Arm hat einen inneren Arm, der bis ein unterschiedliches jeweiliges der Antriebsachsen angeschlossen wird. Ein äußerer Arm jedes scara Armes wird an eine rotationally stationäre Riemenscheibe auf dem Antrieb Abschnitt durch jeweilige Transmissionsriemen angeschlossen.