An optical waveguide structure comprising an annealed phosphorous doped silicon dioxide core surrounded by silicon dioxide cladding layers on a silicon substrate. The refractive index of the core exceeds the refractive index of the cladding to enable waveguiding of optical signals in the core. The upper cladding layer, and in one embodiment also the lower cladding, comprises high boron and phosphorous doped silicon dioxide, suitably doped with greater than about 9% of boron and with about 2.5% to 3.5% phosphorous to obtain a thermal coefficient of expansion approximating that of the silicon substrate. In an alternative embodiment, the lower cladding layer comprises thermally grown silicon dioxide, preferably including an upstanding pedestal on which the waveguide core extends. Advantageously, the cladding composition enables substantially compensation of compressive stress in the core by residual tensile strain in the cladding, thereby reducing to very low values birefringence induced optical signal shift between TE and TM modes of propagation of an optical signal.

Een optische golfgeleiderstructuur die uit een ontharde fosforachtige gesmeerde kern bestaat van het siliciumdioxyde die door de bekledingslagen van het siliciumdioxyde wordt omringd op een siliciumsubstraat. r i Van de kern overschrijdt r i van de bekleding om het waveguiding van optische signalen in de kern toe te laten. De hogere bekledingslaag, en in één belichaming ook de lagere bekleding, bestaat uit hoog borium en fosforachtig gesmeerd siliciumdioxyde, dat geschikt met groter dan ongeveer 9% van borium en met ongeveer 2,5% tot fosforachtige 3,5% wordt gesmeerd om een thermische coëfficiënt van uitbreiding te verkrijgen die dat van het siliciumsubstraat benadert. In een alternatieve belichaming, bestaat de lagere bekledingslaag thermaal uit gekweekt siliciumdioxyde, bij voorkeur met inbegrip van een eerlijk voetstuk waarop de golfgeleiderkern zich uitbreidt. Voordelig, laat de bekledingssamenstelling wezenlijk compensatie van samenpersende spanning in de kern door overblijvende trekspanning in de bekleding toe, daardoor verminderend tot zeer lage waarden dubbele breking veroorzaakte optisch signaalverschuiving tussen de wijzen van TE en TM van propagatie van een optisch signaal.