A substrate transfer system comprises plural end-effectors that are placed so as to touch a periphery of a cone having a vertical angle at a 2.theta. angle with respect to a central axis at an arbitrary .theta. angle to a horizontal plane, wherein substrates are interchanged and simultaneously transferred where the end-effectors are in a horizontal position. Besides, since the end-effectors are vertically located, the minimum rotational radius of the system that is projected to a horizontal plane, can be reduced. This contributes toward the reduction of an installation area for a substrate processing equipment in which the substrate transfer system is equipped.

Um sistema de transferência da carcaça compreende os end-effectors plurais que são colocados para tocar em uma periferia de um cone que tem um ângulo vertical em um 2.theta. dobre com respeito a uma linha central central em um ângulo arbitrário do theta. a um plano horizontal, wherein as carcaças são intercambiadas e transferidas simultaneamente aonde os end-effectors estão em uma posição horizontal. Adicionalmente, desde que os end-effectors são encontrados verticalmente, o raio rotatório mínimo do sistema que é projetado a um plano horizontal, pode ser reduzido. Isto contribui para a redução de uma área da instalação para um equipamento processando da carcaça em que o sistema de transferência da carcaça é equipado.